വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ താപനിലയും വായു മർദ്ദ നിയന്ത്രണവും

പരിസ്ഥിതി സംരക്ഷണം കൂടുതൽ കൂടുതൽ ശ്രദ്ധ ചെലുത്തുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് മൂടൽമഞ്ഞ് കാലാവസ്ഥയുടെ വർദ്ധനവ്.പരിസ്ഥിതി സംരക്ഷണ നടപടികളിൽ ഒന്നാണ് ക്ലീൻ റൂം എഞ്ചിനീയറിംഗ്.പരിസ്ഥിതി സംരക്ഷണത്തിൽ ഒരു നല്ല ജോലി ചെയ്യാൻ ക്ലീൻ റൂം എഞ്ചിനീയറിംഗ് എങ്ങനെ ഉപയോഗിക്കാം?ക്ലീൻ റൂം എഞ്ചിനീയറിംഗിലെ നിയന്ത്രണത്തെക്കുറിച്ച് നമുക്ക് സംസാരിക്കാം.

വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ താപനിലയും ഈർപ്പവും നിയന്ത്രണം

ശുദ്ധമായ ഇടങ്ങളുടെ താപനിലയും ഈർപ്പവും പ്രധാനമായും പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കിയാണ് നിർണ്ണയിക്കുന്നത്, എന്നാൽ പ്രക്രിയ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുമ്പോൾ, മനുഷ്യന്റെ സുഖസൗകര്യങ്ങൾ കണക്കിലെടുക്കണം.വായു ശുദ്ധി ആവശ്യകതകൾ മെച്ചപ്പെടുത്തിയതോടെ, പ്രക്രിയയിൽ താപനിലയ്ക്കും ഈർപ്പത്തിനും കർശനമായ ആവശ്യകതകൾ ഒരു പ്രവണതയുണ്ട്.

ഒരു പൊതു തത്വമെന്ന നിലയിൽ, പ്രോസസ്സിംഗിന്റെ വർദ്ധിച്ചുവരുന്ന കൃത്യത കാരണം, താപനിലയിലെ ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകളുടെ ആവശ്യകതകൾ ചെറുതും ചെറുതുമായി മാറുന്നു.ഉദാഹരണത്തിന്, വലിയ തോതിലുള്ള ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ട് ഉൽപ്പാദനത്തിന്റെ ലിത്തോഗ്രാഫിയിലും എക്സ്പോഷർ പ്രക്രിയയിലും, മാസ്ക് മെറ്റീരിയലുകളായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്ലാസും സിലിക്കൺ വേഫറുകളും തമ്മിലുള്ള താപ വികാസ ഗുണകത്തിന്റെ വ്യത്യാസം വളരെ ചെറുതായിക്കൊണ്ടിരിക്കുന്നു.

100 μm വ്യാസമുള്ള ഒരു സിലിക്കൺ വേഫർ താപനില 1 ഡിഗ്രി ഉയരുമ്പോൾ 0.24 μm രേഖീയ വികാസത്തിന് കാരണമാകുന്നു.അതിനാൽ, ± 0.1 ℃ ന്റെ സ്ഥിരമായ താപനില ആവശ്യമാണ്, ഈർപ്പം മൂല്യം സാധാരണയായി കുറവാണ്, കാരണം വിയർപ്പിന് ശേഷം ഉൽപ്പന്നം മലിനമാകും, പ്രത്യേകിച്ച് സോഡിയത്തെ ഭയപ്പെടുന്ന അർദ്ധചാലക വർക്ക്ഷോപ്പുകളിൽ.ഇത്തരത്തിലുള്ള വർക്ക്ഷോപ്പ് 25 ഡിഗ്രിയിൽ കൂടരുത്.

അമിതമായ ഈർപ്പം കൂടുതൽ പ്രശ്നങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു.ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 55% കവിയുമ്പോൾ, തണുപ്പിക്കുന്ന ജല പൈപ്പ് ഭിത്തിയിൽ ഘനീഭവിക്കും.കൃത്യമായ ഉപകരണങ്ങളിലോ സർക്യൂട്ടുകളിലോ ഇത് സംഭവിക്കുകയാണെങ്കിൽ, അത് വിവിധ അപകടങ്ങൾക്ക് കാരണമാകും.ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 50% ആയിരിക്കുമ്പോൾ, തുരുമ്പ് പിടിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്.കൂടാതെ, ഈർപ്പം വളരെ കൂടുതലായിരിക്കുമ്പോൾ, സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ പറ്റിനിൽക്കുന്ന പൊടി വായുവിലെ ജല തന്മാത്രകളിലൂടെ ഉപരിതലത്തിൽ രാസപരമായി ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടും, ഇത് നീക്കംചെയ്യാൻ പ്രയാസമാണ്.

ഉയർന്ന ആപേക്ഷിക ആർദ്രത, അഡീഷൻ നീക്കം ചെയ്യാൻ ബുദ്ധിമുട്ടാണ്.എന്നിരുന്നാലും, ആപേക്ഷിക ആർദ്രത 30% ൽ താഴെയാണെങ്കിൽ, ഇലക്ട്രോസ്റ്റാറ്റിക് ശക്തിയുടെ പ്രവർത്തനം കാരണം കണികകൾ ഉപരിതലത്തിൽ എളുപ്പത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ധാരാളം അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ തകരാൻ സാധ്യതയുണ്ട്.സിലിക്കൺ വേഫർ ഉൽപാദനത്തിനുള്ള ഏറ്റവും അനുയോജ്യമായ താപനില പരിധി 35-45% ആണ്.

വായുമര്ദ്ദംനിയന്ത്രണംവൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ 

മിക്ക വൃത്തിയുള്ള ഇടങ്ങളിലും, ബാഹ്യ മലിനീകരണം തടയുന്നതിന്, ബാഹ്യ മർദ്ദത്തേക്കാൾ (സ്റ്റാറ്റിക് മർദ്ദം) ഉയർന്ന ആന്തരിക മർദ്ദം (സ്റ്റാറ്റിക് മർദ്ദം) നിലനിർത്തേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.സമ്മർദ്ദ വ്യത്യാസത്തിന്റെ പരിപാലനം സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്ന തത്ത്വങ്ങൾ പാലിക്കണം:

1. വൃത്തിയുള്ള സ്ഥലങ്ങളിലെ മർദ്ദം വൃത്തിയില്ലാത്ത സ്ഥലങ്ങളേക്കാൾ കൂടുതലായിരിക്കണം.

2. ഉയർന്ന ശുചിത്വ നിലവാരമുള്ള ഇടങ്ങളിലെ മർദ്ദം കുറഞ്ഞ വൃത്തിയുള്ള സ്ഥലങ്ങളേക്കാൾ ഉയർന്നതായിരിക്കണം.

3. വൃത്തിയുള്ള മുറികൾക്കിടയിലുള്ള വാതിലുകൾ ഉയർന്ന വൃത്തിയുള്ള മുറികളിലേക്ക് തുറക്കണം.

മർദ്ദ വ്യത്യാസത്തിന്റെ പരിപാലനം ശുദ്ധവായുവിന്റെ അളവിനെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, ഈ മർദ്ദ വ്യത്യാസത്തിന് കീഴിലുള്ള വിടവിൽ നിന്നുള്ള വായു ചോർച്ച നികത്താൻ കഴിയും.അതിനാൽ മർദ്ദ വ്യത്യാസത്തിന്റെ ഭൗതിക അർത്ഥം ശുദ്ധമായ മുറിയിലെ വിവിധ വിടവുകളിലൂടെയുള്ള ചോർച്ച (അല്ലെങ്കിൽ നുഴഞ്ഞുകയറ്റം) വായു പ്രവാഹത്തിന്റെ പ്രതിരോധമാണ്.