വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ വായുപ്രവാഹ സംഘടനയുടെ സ്വാധീന ഘടകങ്ങൾ എന്തൊക്കെയാണ്?

ചിപ്പ് നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിലെ ചിപ്പ് വിളവ്, ചിപ്പിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്ന വായു കണങ്ങളുടെ വലുപ്പവും എണ്ണവുമായി അടുത്ത ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. നല്ല വായു പ്രവാഹ ക്രമീകരണം പൊടി സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്ന് ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്ന കണങ്ങളെ വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ നിന്ന് മാറ്റി വൃത്തിയാക്കുന്ന മുറിയുടെ ശുചിത്വം ഉറപ്പാക്കും. അതായത്, ചിപ്പ് ഉൽപാദനത്തിന്റെ വിളവിൽ ക്ലീൻറൂമിലെ വായു പ്രവാഹ ക്രമീകരണം ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ക്ലീൻറൂം വായു പ്രവാഹ സംവിധാനത്തിന്റെ രൂപകൽപ്പനയിൽ കൈവരിക്കേണ്ട ലക്ഷ്യങ്ങൾ ഇവയാണ്: ദോഷകരമായ കണികകൾ നിലനിർത്തുന്നത് ഒഴിവാക്കാൻ ഒഴുക്ക് മേഖലയിലെ ചുഴികൾ കുറയ്ക്കുകയോ ഇല്ലാതാക്കുകയോ ചെയ്യുക; ക്രോസ്-മലിനീകരണം തടയുന്നതിന് ഉചിതമായ പോസിറ്റീവ് മർദ്ദ ഗ്രേഡിയന്റ് നിലനിർത്തുക.

ക്ലീൻ റൂം തത്വമനുസരിച്ച്, കണികകളിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന ബലങ്ങളിൽ പിണ്ഡബലം, തന്മാത്രാബലം, കണികകൾക്കിടയിലുള്ള ആകർഷണബലം, വായു പ്രവാഹബലം മുതലായവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

എയർഫ്ലോ ഫോഴ്‌സ്: സപ്ലൈ, റിട്ടേൺ എയർഫ്ലോ, താപ സംവഹന വായുപ്രവാഹം, കൃത്രിമ പ്രക്ഷോഭം, കണികകളെ വഹിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു നിശ്ചിത പ്രവാഹ നിരക്ക് ഉള്ള മറ്റ് വായുപ്രവാഹങ്ങൾ എന്നിവ മൂലമുണ്ടാകുന്ന വായുപ്രവാഹത്തിന്റെ ശക്തിയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു. വൃത്തിയുള്ള മുറി പരിസ്ഥിതി സാങ്കേതിക നിയന്ത്രണത്തിന്, വായുപ്രവാഹ ശക്തിയാണ് ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഘടകം.

വായുപ്രവാഹ ചലനത്തിൽ, കണികകൾ വായുപ്രവാഹത്തെ ഏതാണ്ട് ഒരേ വേഗതയിൽ പിന്തുടരുന്നുവെന്ന് പരീക്ഷണങ്ങൾ തെളിയിച്ചിട്ടുണ്ട്. വായുവിലെ കണികകളുടെ അവസ്ഥ നിർണ്ണയിക്കുന്നത് വായുപ്രവാഹ വിതരണമാണ്. ഇൻഡോർ കണികകളിൽ വായുപ്രവാഹത്തിന്റെ പ്രധാന ഫലങ്ങൾ ഇവയാണ്: വായു വിതരണ വായുപ്രവാഹം (പ്രാഥമിക വായുപ്രവാഹവും ദ്വിതീയ വായുപ്രവാഹവും ഉൾപ്പെടെ), ആളുകൾ നടക്കുന്നതിലൂടെ ഉണ്ടാകുന്ന വായുപ്രവാഹവും താപ സംവഹന വായുപ്രവാഹവും, പ്രക്രിയ പ്രവർത്തനങ്ങളും വ്യാവസായിക ഉപകരണങ്ങളും മൂലമുണ്ടാകുന്ന കണികകളിൽ വായുപ്രവാഹത്തിന്റെ സ്വാധീനവും. ക്ലീൻറൂമുകളിലെ വ്യത്യസ്ത വായു വിതരണ രീതികൾ, വേഗത ഇന്റർഫേസുകൾ, ഓപ്പറേറ്റർമാരും വ്യാവസായിക ഉപകരണങ്ങളും, പ്രേരിത പ്രതിഭാസങ്ങൾ മുതലായവയെല്ലാം ശുചിത്വ നിലവാരത്തെ ബാധിക്കുന്ന ഘടകങ്ങളാണ്.

1. വായു വിതരണ രീതിയുടെ സ്വാധീനം

(1) വായു വിതരണ വേഗത

ഏകീകൃത വായുപ്രവാഹം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന്, ഏകദിശയിലുള്ള പ്രവാഹമുള്ള വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ വായു വിതരണ വേഗത ഏകീകൃതമായിരിക്കണം; വായു വിതരണ പ്രതലത്തിലെ നിർജ്ജീവ മേഖല ചെറുതായിരിക്കണം; കൂടാതെ ഹെപ്പ ഫിൽട്ടറിനുള്ളിലെ മർദ്ദനക്കുറവും ഏകീകൃതമായിരിക്കണം.

വായു വിതരണ വേഗത ഏകീകൃതമാണ്: അതായത്, വായുപ്രവാഹത്തിന്റെ അസമത്വം ± 20% നുള്ളിൽ നിയന്ത്രിക്കപ്പെടുന്നു.

എയർ സപ്ലൈ പ്രതലത്തിൽ ഡെഡ് സ്പേസ് കുറവാണ്: ഹെപ്പ ഫ്രെയിമിന്റെ പ്ലെയിൻ ഏരിയ കുറയ്ക്കുക മാത്രമല്ല, കൂടുതൽ പ്രധാനമായി, അനാവശ്യ ഫ്രെയിം ലളിതമാക്കാൻ മോഡുലാർ എഫ്എഫ്യു ഉപയോഗിക്കണം.

വായുപ്രവാഹം ലംബവും ഏകദിശയുമാണെന്ന് ഉറപ്പാക്കാൻ, ഫിൽട്ടറിന്റെ മർദ്ദനഷ്ടം തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതും വളരെ പ്രധാനമാണ്, കൂടാതെ ഫിൽട്ടറിനുള്ളിലെ മർദ്ദനഷ്ടം പക്ഷപാതപരമായി കണക്കാക്കാൻ പാടില്ല എന്നത് ആവശ്യമാണ്.

(2) FFU സിസ്റ്റവും ആക്സിയൽ ഫ്ലോ ഫാൻ സിസ്റ്റവും തമ്മിലുള്ള താരതമ്യം

ഫാനും ഹെപ്പ ഫിൽട്ടറും ഉള്ള ഒരു എയർ സപ്ലൈ യൂണിറ്റാണ് എഫ്എഫ്യു. എഫ്എഫ്യുവിലെ സെൻട്രിഫ്യൂഗൽ ഫാൻ വായു വലിച്ചെടുക്കുകയും ഡൈനാമിക് മർദ്ദത്തെ എയർ ഡക്ടിലെ സ്റ്റാറ്റിക് മർദ്ദമാക്കി മാറ്റുകയും ചെയ്യുന്നു. ഹെപ്പ ഫിൽറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് ഇത് തുല്യമായി പുറന്തള്ളപ്പെടുന്നു. സീലിംഗിലെ എയർ സപ്ലൈ മർദ്ദം നെഗറ്റീവ് മർദ്ദമാണ്. ഈ രീതിയിൽ ഫിൽട്ടർ മാറ്റിസ്ഥാപിക്കുമ്പോൾ ഒരു പൊടിയും വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലേക്ക് ഒഴുകില്ല. എയർ ഔട്ട്‌ലെറ്റ് യൂണിഫോമിറ്റി, എയർ ഫ്ലോ പാരലലിസം, വെന്റിലേഷൻ കാര്യക്ഷമതാ സൂചിക എന്നിവയിൽ എഫ്എഫ്യു സിസ്റ്റം അക്ഷീയ ഫ്ലോ ഫാൻ സിസ്റ്റത്തേക്കാൾ മികച്ചതാണെന്ന് പരീക്ഷണങ്ങൾ തെളിയിച്ചിട്ടുണ്ട്. എഫ്എഫ്യു സിസ്റ്റത്തിന്റെ എയർ ഫ്ലോ പാരലലിസം മികച്ചതാണ് എന്നതാണ് ഇതിന് കാരണം. എഫ്എഫ്യു സിസ്റ്റത്തിന്റെ ഉപയോഗം വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ എയർ ഫ്ലോ ഓർഗനൈസേഷൻ മെച്ചപ്പെടുത്തും.

(3) FFU യുടെ സ്വന്തം ഘടനയുടെ സ്വാധീനം

FFU പ്രധാനമായും ഫാനുകൾ, ഫിൽട്ടറുകൾ, എയർ ഫ്ലോ ഗൈഡുകൾ, മറ്റ് ഘടകങ്ങൾ എന്നിവ ചേർന്നതാണ്. ഡിസൈൻ അനുസരിച്ച് ആവശ്യമായ ശുചിത്വം കൈവരിക്കുന്നതിന് വൃത്തിയുള്ള മുറിക്ക് ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട ഗ്യാരണ്ടിയാണ് ഹെപ്പ ഫിൽട്ടർ. ഫിൽട്ടറിന്റെ മെറ്റീരിയൽ ഫ്ലോ ഫീൽഡിന്റെ ഏകീകൃതതയെയും ബാധിക്കും. ഫിൽട്ടർ ഔട്ട്‌ലെറ്റിൽ ഒരു റഫ് ഫിൽട്ടർ മെറ്റീരിയൽ അല്ലെങ്കിൽ ഒരു ഫ്ലോ പ്ലേറ്റ് ചേർക്കുമ്പോൾ, ഔട്ട്‌ലെറ്റ് ഫ്ലോ ഫീൽഡ് എളുപ്പത്തിൽ യൂണിഫോം ആക്കാൻ കഴിയും.

2. വ്യത്യസ്ത ശുചിത്വത്തോടുകൂടിയ സ്പീഡ് ഇന്റർഫേസിന്റെ സ്വാധീനം

ഒരേ വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ, ജോലി ചെയ്യുന്ന സ്ഥലത്തിനും ലംബമായ ഏകദിശാ പ്രവാഹമുള്ള നോൺ-വർക്കിംഗ് ഏരിയയ്ക്കും ഇടയിൽ, ഹെപ്പ ബോക്സിലെ വായു വേഗതയിലെ വ്യത്യാസം കാരണം, ഇന്റർഫേസിൽ ഒരു മിക്സഡ് വോർട്ടക്സ് പ്രഭാവം സംഭവിക്കും, കൂടാതെ ഈ ഇന്റർഫേസ് ഒരു പ്രക്ഷുബ്ധമായ വായുപ്രവാഹ മേഖലയായി മാറും. വായു പ്രക്ഷുബ്ധതയുടെ തീവ്രത പ്രത്യേകിച്ച് ശക്തമാണ്, കൂടാതെ കണികകൾ ഉപകരണ യന്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുകയും ഉപകരണങ്ങളെയും വേഫറുകളെയും മലിനമാക്കുകയും ചെയ്യാം.

3. ജീവനക്കാരിലും ഉപകരണങ്ങളിലും ഉണ്ടാകുന്ന ആഘാതം

വൃത്തിയുള്ള മുറി ശൂന്യമായിരിക്കുമ്പോൾ, മുറിയിലെ വായുപ്രവാഹ സവിശേഷതകൾ സാധാരണയായി ഡിസൈൻ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു. ഉപകരണങ്ങൾ വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലേക്ക് പ്രവേശിച്ചുകഴിഞ്ഞാൽ, ആളുകൾ നീങ്ങുകയും ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ കൊണ്ടുപോകുകയും ചെയ്‌താൽ, ഉപകരണ മെഷീനിൽ നിന്ന് നീണ്ടുനിൽക്കുന്ന മൂർച്ചയുള്ള പോയിന്റുകൾ പോലുള്ള വായുപ്രവാഹ ഓർഗനൈസേഷന് അനിവാര്യമായും തടസ്സങ്ങൾ ഉണ്ടാകുന്നു. കോണുകളിലോ അരികുകളിലോ, വാതകം ഒരു പ്രക്ഷുബ്ധമായ പ്രവാഹ മേഖലയായി മാറും, കൂടാതെ പ്രദേശത്തെ ദ്രാവകം വരുന്ന വാതകത്താൽ എളുപ്പത്തിൽ കൊണ്ടുപോകപ്പെടില്ല, അങ്ങനെ മലിനീകരണത്തിന് കാരണമാകുന്നു.

അതേസമയം, തുടർച്ചയായ പ്രവർത്തനം കാരണം മെക്കാനിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഉപരിതലം ചൂടാകും, കൂടാതെ താപനില ഗ്രേഡിയന്റ് മെഷീനിനടുത്ത് ഒരു റീഫ്ലോ ഏരിയയ്ക്ക് കാരണമാകും, ഇത് റീഫ്ലോ ഏരിയയിൽ കണങ്ങളുടെ ശേഖരണം വർദ്ധിപ്പിക്കും. അതേസമയം, ഉയർന്ന താപനില കണികകൾ എളുപ്പത്തിൽ രക്ഷപ്പെടാൻ കാരണമാകും. ഇരട്ട പ്രഭാവം മൊത്തത്തിലുള്ള ലംബ പാളിയെ തീവ്രമാക്കുന്നു. സ്ട്രീം ശുചിത്വം നിയന്ത്രിക്കുന്നതിലെ ബുദ്ധിമുട്ട്. വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ഓപ്പറേറ്റർമാരിൽ നിന്നുള്ള പൊടി ഈ റീഫ്ലോ ഏരിയകളിലെ വേഫറുകളിൽ എളുപ്പത്തിൽ പറ്റിനിൽക്കും.

4. റിട്ടേൺ എയർ ഫ്ലോറിന്റെ സ്വാധീനം

തറയിലൂടെ കടന്നുപോകുന്ന തിരിച്ചുവരുന്ന വായുവിന്റെ പ്രതിരോധം വ്യത്യസ്തമാകുമ്പോൾ, മർദ്ദ വ്യത്യാസം സംഭവിക്കും, ഇത് ചെറിയ പ്രതിരോധത്തിന്റെ ദിശയിലേക്ക് വായു ഒഴുകാൻ കാരണമാകും, കൂടാതെ ഏകീകൃത വായുപ്രവാഹം ലഭിക്കില്ല. നിലവിലുള്ള ജനപ്രിയ ഡിസൈൻ രീതി എലവേറ്റഡ് ഫ്ലോർ ഉപയോഗിക്കുക എന്നതാണ്. എലവേറ്റഡ് ഫ്ലോറിന്റെ ഓപ്പണിംഗ് അനുപാതം 10% ആയിരിക്കുമ്പോൾ, ഇൻഡോർ വർക്കിംഗ് ഉയരത്തിൽ വായുപ്രവാഹ വേഗത തുല്യമായി വിതരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, തറയിലെ മലിനീകരണത്തിന്റെ ഉറവിടം കുറയ്ക്കുന്നതിന് ക്ലീനിംഗ് ജോലികളിൽ കർശനമായ ശ്രദ്ധ ചെലുത്തണം.

5. ഇൻഡക്ഷൻ പ്രതിഭാസം

ഏകീകൃത പ്രവാഹത്തിന് വിപരീത ദിശയിൽ വായുപ്രവാഹം സൃഷ്ടിക്കുന്ന പ്രതിഭാസത്തെയാണ് ഇൻഡക്ഷൻ പ്രതിഭാസം എന്ന് വിളിക്കുന്നത്, ഇത് മുറിയിൽ ഉണ്ടാകുന്ന പൊടിപടലങ്ങളെയോ തൊട്ടടുത്തുള്ള മലിനമായ പ്രദേശങ്ങളിലെ പൊടിപടലങ്ങളെയോ കാറ്റിന്റെ വശത്തേക്ക് പ്രേരിപ്പിക്കുകയും അതുവഴി പൊടി വേഫറിനെ മലിനമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സാധ്യമായ പ്രേരിത പ്രതിഭാസങ്ങളിൽ ഇനിപ്പറയുന്നവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

(1) ബ്ലൈൻഡ് പ്ലേറ്റ്

ലംബമായ വൺ-വേ ഫ്ലോ ഉള്ള ഒരു വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ, ചുമരിലെ സന്ധികൾ കാരണം, പൊതുവെ വലിയ ബ്ലൈൻഡ് പാനലുകൾ ഉണ്ടാകും, അത് പ്രക്ഷുബ്ധമായ ഒഴുക്കും പ്രാദേശിക ബാക്ക്ഫ്ലോയും സൃഷ്ടിക്കും.

(2) വിളക്കുകൾ

വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ ലൈറ്റിംഗ് ഫർണിച്ചറുകൾ കൂടുതൽ സ്വാധീനം ചെലുത്തും. ഫ്ലൂറസെന്റ് വിളക്കിന്റെ ചൂട് വായുപ്രവാഹം ഉയരാൻ കാരണമാകുന്നതിനാൽ, ഫ്ലൂറസെന്റ് വിളക്ക് പ്രക്ഷുബ്ധമായ പ്രദേശമായി മാറില്ല. സാധാരണയായി, വായുപ്രവാഹ ഓർഗനൈസേഷനിൽ വിളക്കുകളുടെ ആഘാതം കുറയ്ക്കുന്നതിന് കണ്ണുനീർ തുള്ളി ആകൃതിയിലാണ് വൃത്തിയുള്ള മുറിയിലെ വിളക്കുകൾ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്.

(3) ചുവരുകൾക്കിടയിലുള്ള വിടവുകൾ

വ്യത്യസ്ത ശുചിത്വ ആവശ്യകതകളുള്ള പാർട്ടീഷൻ ഭിത്തികൾക്കോ ​​സീലിംഗുകൾക്കോ ​​ഇടയിൽ വിടവുകൾ ഉണ്ടാകുമ്പോൾ, കുറഞ്ഞ ശുചിത്വ ആവശ്യകതകളുള്ള പ്രദേശങ്ങളിൽ നിന്നുള്ള പൊടി ഉയർന്ന ശുചിത്വ ആവശ്യകതകളുള്ള സമീപ പ്രദേശങ്ങളിലേക്ക് മാറ്റാൻ കഴിയും.

(4) മെക്കാനിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളും തറയും അല്ലെങ്കിൽ മതിലും തമ്മിലുള്ള ദൂരം

മെക്കാനിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളും തറയും അല്ലെങ്കിൽ ഭിത്തിയും തമ്മിലുള്ള വിടവ് ചെറുതാണെങ്കിൽ, റീബൗണ്ട് ടർബുലൻസ് സംഭവിക്കും. അതിനാൽ, ഉപകരണങ്ങൾക്കും ഭിത്തിക്കും ഇടയിൽ ഒരു വിടവ് വിടുക, നിലവുമായുള്ള നേരിട്ടുള്ള സമ്പർക്കം ഒഴിവാക്കാൻ മെഷീൻ പ്ലാറ്റ്‌ഫോം ഉയർത്തുക.